2004-08-012024-05-17https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/67912212吋晶圓製造服務佳化工具與標竿環境之研發-子計畫五:多步程製造系統演進最佳化方法及應用於晶圓廠良率提昇之研究(2/3)