指導教授：黃光裕臺灣大學：機械工程學研究所崔治文Cui, Zhi-WenZhi-WenCui2014-11-292018-06-282014-11-292018-06-282014http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/263210光學量測具有非侵入式、高解析度和高準確性等優點，被廣泛應用於化學、醫療器具等領域當中。近年來由於雷射光源、光電感測器和半導體的高速發展，光學量測的應用範圍廣泛的增加，過去無法應用的理論也在科技的演變下有了伸展的舞台。 本文設計開發光學波前量測的新應用領域，過去光學波前量測在於校正天文望遠鏡因為地球大氣擾動所產生的像差，運用相同的原理，量測醫療霧化器產生的霧氣變化，並設計能傳輸定劑量的霧氣產生器，提供光學波前量測依據。 整體系統由霧氣產生裝置、封包霧氣產生裝置與光學監測裝置三個主要子系統構成，以霧氣產生裝置與封包霧氣產生裝置產生定濃度的霧氣至光學監測系統，探討光學監測系統截取的數據。系統設計開發以現有的光學波前量測裝置為核心，逐步完成理論分析與實體設計之流程。 整體系統之性能透過理論分析與有限元素法模擬，探討設計參數對於定濃度封包霧氣產生性能之影響，並找出最佳設計參數。在實驗測試專注於封包氣體產生裝置的穩定性、傳送速率等主要性能。 設計完成之封包霧氣產生，於壓電驅動電壓45 V狀態下，微劑量霧化器能穩定輸出最小封包質量為0.05 g；光學監測裝置可量測霧氣擾動所造成的像差，並推算空間中霧氣質量流率趨勢，量測解析度達0.1 g/min。Optical measurement systems are widely used in the field of chemistry and medical appliances due to the advantage of non-invasive, high resolution, and high accuracy. In recent years, the applications of the optical measurement systems have increased because of the rapid development of laser sources, optical sensors and semiconductors,. In this paper, a new application in the field of optical wave front measurements is proposed, which in the past were used to correct the aberration of telescopes, because of the Earth''s atmospheric disturbance. Using wave front sensor to quantify mist and transmit a given dose of the mist, which device is desperitily needed in medical applications. The mist generating system consists of three parts, the mist generating system, micro-dose generating system and optical monitoring system. Use a given concentration dose, which is generated by micro-dose generating device, to quantify optical measurement standard. System completed gradually by process of theoretical analysis and physical design. Overall system performance through theoretical analysis and finite element method simulations to explore design parameters for a given concentration affects the performance of micro-dose and find the optimal design parameters. Experimental tests focused on the stability of the micro-dose generating device and the transmission rate performance. The mist micro-dose generator can generate, at the drive voltage 45 V, steady single dosage 0.05 mg. The optical monitoring device can measure the aberration caused by the disturbance of mist and calculate the mass flow trend.誌謝 I 中文摘要 II 英文摘要 III 表目錄 VIII 圖目錄 IX 符號表 XII 第一章 緒論 1 1.1研究背景與動機 1 1.2文獻回顧 2 1.2.1 霧化裝置 2 1.2.2 霧氣封包裝置 5 1.2.3 光學劑量監測裝置 6 1.3研究目標及論文內容摘要 9 第二章 微劑量霧化器與劑量監測裝置之概念設計 11 2.1微劑量霧化器之原理 12 2.1.1 噴射霧化器 12 2.1.2 超音波霧化器 13 2.1.3 振動篩網噴霧器 13 2.2光學劑量監測裝置 15 2.2.1 霧氣組成與劑量定義 15 2.2.2 光學劑量監測原理 16 2.2.3 光學像差介紹 18 2.2.4 光學波前監測原理 21 第三章 微劑量霧化器與光學劑量監測理論性能分析 24 3.1微劑量霧化器之理論性能分析 24 3.1.1霧化裝置之理論性能分析 24 3.1.2封包傳送裝置理論分析 29 3.1.3封包傳送裝置模擬分析 32 3.2光學劑量監測之理論性能分析 34 3.2.1 Zernike多項式 34 3.2.1大氣結構常數(Atmospheric structure constant) 36 3.2.3光學波前監測之模擬分析 38 第四章 微劑量霧化器附光學劑量監測裝置之開發 42 4.1微劑量霧化器 42 4.1.1壓電篩板霧化器 42 4.1.2電磁致動器 44 4.1.3氣體封包產生腔 45 4.1.4控制電路架構 47 4.2光學劑量監測裝置 48 4.2.1雷射光源 48 4.2.2準直鏡組 50 4.2.2單模光纖 51 第五章 性能測試與分析 52 5.1霧化能力 52 5.2光學式劑量量測性能之實驗與數據分析 54 5.3 微劑量霧化器劑量分析 63 5.3.1霧氣封包傳送測試 63 5.3.2光學量測測試 65 第六章 結論與未來展望 69 參考文獻 70 附錄A Thorlab感應器 73 附錄B 任意波函數信號產生器 74 附錄C 示波器 75 附錄D 透鏡 AL50100-A 76 附錄E 電磁致動器SH-0630 77 附錄F 電子秤 785031918 bytesapplication/pdf論文公開時間：2017/08/12論文使用權限：同意無償授權微劑量霧化器氣體濃度光學波前量測thesishttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/263210/1/ntu-103-R01522627-1.pdf