邱文英2006-07-252018-06-282006-07-252018-06-281998http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/9186application/pdfzh-TW國立臺灣大學化學工程學系暨研究所由石化原料製備深次微米IC工業特用化學品─子計畫一：由MMA系列共聚合物製備193NM DEEP UV光阻劑report