彭隆瀚Peng, Lung-Han臺灣大學:光電工程學研究所林揆倫Lin, Kuei-LunKuei-LunLin2010-07-012018-07-052010-07-012018-07-052008U0001-3007200813374700http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/188375本篇論文重點在製作出具脊狀波導之週期性極化反轉鈮酸鋰倍頻晶體(PPCLN:WG)，期望可達成微型化高效能綠光雷射之目標。主要分成波導與準相位匹配原理的介紹、晶體製程，以及光學量測。　製程部分，介紹質子交換溼式蝕刻法來製作脊狀結構，並採用較低溫的鎳擴散完成波導製程，且在第四章分析波導導光特性。接續介紹本實驗室建立的高電壓致極化反轉系統，詳細說明該架構與模型，並介紹完整製程流程與實驗結果。波導方面，成功製作出最深可達5.5um的脊狀結構，而鎳擴散在800℃、4小時與900℃、1小時皆有良好的傳導TM模態特性。週期極化反轉結構上，可在波導上製作出週期6.7um、晶體厚度0.5mm、有效長度6mm的晶體，寬度可隨波導寬度改變，成功製作出具脊狀波導之週期性極化反轉鈮酸鋰。　光學量測部分，首先藉由拋光端面作鎳擴散之定性分析並量測波導特性與觀察光場圖形。倍頻量測上分成兩個耦合系統介紹，最後量測出在1064nm基頻光源峰值強度25.5MW/cm2、平均功率6mW下，有效長度為6mm的倍頻波導有20%的外部轉換效率；而未做波導的bulk區域在峰值強度7.6MW/cm2、平均功率41mW下最高外部轉換效率為1.2%。This thesis focus on the fabrication of periodically poled lithium niobate on ridge waveguides (PPCLN on WG). It includes three parts: an introduction to the theory of waveguides and quasi phase matching (QPM), followed by the fabrication techniques, and the results of optical characterization. As for the fabrication part, we use the method of proton exchange and wet etching to make a ridge structure, which is followed by nickel diffusion to accomplish the realization of the optical waveguide structure. We then apply the pulsed electric field poling technique to realize PPCLN on the ridge waveguides. A PPCLN-WG with a periodicity of 6.7um, with ridge length of 6mm of height of 5.5um can thus be accomplished. As for the optical characterization part: a Nd:YVO4 1064nm laser with 18.8ns pulse width was used as the pump source. We report an observation of 20% conversion efficiency for second harmonic green generation at a pump power of 6mW, equivalent to peak pump intensity of 25.5MW/cm2. In comparison, bulk PPCLN pumped by 41mW 1064nm laser only gives a conversion efficiency of 1.2% due to a weak pump intensity of 7.6 MW/cm2 and lack of optical confinement in the mixing of nonlinear waves.第一章 緒論 1.1 研究背景與動機 1.2 鈮酸鋰晶體介紹 4.2.1 常用之非線性材料的比較 4.2.2 鈮酸鋰歷史簡介 5.2.3 鈮酸鋰的鐵電相 5.2.4 鈮酸鋰晶體之摻雜 7.3 論文內容概述 9二章 光波導簡介與準相位匹配原理 10.1 光波導簡介 10.2 非線性頻率轉換與相位匹配 12.3 雙折射相位匹配 14.4 準相位匹配理論 15.4.1 一維空間準相位匹配 15.4.2 二維空間的準相位匹配 18.5 波導中準相位匹配之修正 21三章 光波導與週期性極化反轉鈮酸鋰製作 22.1 製作流程 22.2 光波導製作與結果 25.2.1 質子交換溼式蝕刻技術 26.2.2 脊狀結構製作與結果 28.2.3 鎳擴散介紹與製作 30.3 週期性極化反轉鈮酸鋰製作與結果 33.3.1 高電壓致極化反轉介紹與模型 33.3.2 高電壓致極化反轉儀器架構 36.3.3 液態電極與夾具設計 37.3.4 週期性極化反轉鈮酸鋰製作與結果 38四章 光學量測與分析 42.1 波導光學量測 42.1.1 端面研磨拋光 42.1.2 波導特性量測 44.2 倍頻光學量測 47.2.1 平行光源耦合架構 47.2.2 非球面鏡耦合架構 51五章 結論與未來展望 55.1 結論 55.2 未來展望 56考資料 572716427 bytesapplication/pdfen-US光波導準相位匹配鈮酸鋰optical waveguideQPMLiNbO3thesishttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/188375/1/ntu-97-R95941046-1.pdf