國立臺灣大學機械工程學系暨研究所陳炳煇2006-07-252018-06-282006-07-252018-06-281998http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/15602本計畫目的在研究壓電薄膜的製 作與性質研究，並利用此為基礎設計 壓力感測器、信號產生器及接收器， 在利用這些元件對微流量量測技術作 一初步研究。 隨著高科技產業的進步，利用微 機電技術製作的元件在尺寸上大幅縮 小且因採用IC 批量生產製程，單一元 件成本可有效降低，具有強大的市場 潛力。但因尺寸縮小，故驅動方式也 必須改變，其中壓電材料因具備有機 電能互換的能力，而相當受到重視。 本計畫便希望能提出一較好的壓電薄 膜製作程序，並以此為基礎設計出能 夠實際應用於微流量量測之壓力感測 器。application/pdf285061 bytesapplication/pdfzh-TW國立臺灣大學機械工程學系暨研究所微機電技術壓電薄膜微 流量計reporthttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/15602/1/872212E002059.pdf