國立臺灣大學電機工程學系暨研究所陳永耀2006-07-252018-07-062006-07-252018-07-061996http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/7150zh-TW國立臺灣大學電機工程學系暨研究所半島體製程設備步進器定位機構研發計畫─半導體製程設備步進器定位機構研發─子計畫三：步進器定位機構精密位置量測及系統整合（１／３）report