國立臺灣大學機械工程學系暨研究所范光照2006-07-252018-06-282006-07-252018-06-281998http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/15611本計劃為國科會整合型研究計畫 「半導體關鍵設備研發」總計畫的第二 年度成果報告, 本年度之報告結合各子 計畫之研究成果。目前已順利完成第二 年度的預期進度,研究成果包括：(1)快 速熱處理機台自動化研究,(2) 0.35mm 或更高技術之單晶圓化學氣相沉積反 應器,(3)半導體電漿製程之模擬與研 製,(4)半導體製程反應器之模擬與研 製。在充分的團隊合作下將順利進展第 三年度進度。application/pdf139374 bytesapplication/pdfzh-TW國立臺灣大學機械工程學系暨研究所半導體設備快速熱處理機台熱處理製程CVD反應器電漿製程reporthttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/15611/1/872218E002002.pdf