許仁華博士臺灣大學：物理研究所洪舜賢2007-11-262018-06-282007-11-262018-06-282005http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/54471摘 要 本實驗嘗試添加順磁性很強Ho離子到La0.67Ca0.33MnO3之中取代La離子，研究添加Ho離子對La0.67Ca0.33MnO3的電性、磁性及磁阻的影響，實驗分塊材及薄膜兩部分。 首先，使用固態反應燒結法(solid reaction technique )來製備La0.67Ca0.33 MnO3塊材，由XDR圖形確定燒結出La0.67Ca0.33MnO3之後再添加Ho，比例由0.2 mol%~2.0 mol%，作一系列的塊材分析研究，發現適量添加Ho (0.2 mol%~0.8 mol%)能提升La0.67Ca0.33MnO3金屬-絕緣相轉換溫度TMI值，最高可提升至280K左右(添加Ho 0.2 mol%)。 其次，燒結添加不同Ho比例的2吋靶材(添加比例由0.2 mol%~0.6 mol%)，利用直流濺鍍方法，將La0.67Ca0.33MnO3薄膜濺鍍於STO(100)基板之上，薄膜厚度約30nm。XRD圖形顯示薄膜沿著基板(n00)方向磊晶，且由rocking curve 知道薄膜磊晶品質良好。最後，發現添加Ho的薄膜，有助於提昇薄膜的金屬-絕緣相間之轉換溫度TMI及居禮溫度TC，在濺鍍薄膜時維持基板溫度600℃下，添加Ho比例約0.4 mol%的薄膜TMI值最高(約280K )，TC值約275K。In this experiment we add Ho(0.2~2.0 mol%) to La0.67Ca0.33MnO3 (LCMO) sample, and sputtering thin films . The bulks whose metal-insulator (M-I) transition temperature T MI of Ho-doped bulk samples are enhanced about 15K compared with Ho-free LCMO. Hox-La0.67Ca0.33MnO3 films with x = 0, 0.2, 0.4 and 0.6 % mole of Ho have been prepared by dc magnetron sputter -ing. The thin films were grown on SrTiO3(100) substrates with the substrate temperature at 600℃ and the thickness of the films was about 30nm. It has been found from X-ray diffraction that only superlattice peaks corresponding to (002) and (004) planes are present and the peak positions shift to larger angles as the amount of Ho is increased. Furthermore, the magnetic transition temperature Tc and metal- insulator (M-I) transition temperature TMI are enhanced about 25~50K compared with Ho-free LCMO thin film. The enhancement maximum in x ≒ 0.4 occurs at its ordering temperature around 280K.目 錄 中文摘要· · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · І 英文摘要· · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ІI 目錄 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ІII 圖目錄 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · VIII 表目錄 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ·XII 第一章 緒論 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 1 1-1 前言 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 1 1-2 相關文獻與研究動機· · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ·1 1-3 Ho材料特性說明 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 7 1-4 磁阻定義與分類 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 9 1-4.1 常磁阻 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 10 1-4.2 異向性磁阻 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 10 1-4.3 巨磁阻 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 11 1-4.4 穿遂式磁阻 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 13 1-4.5 龐磁阻 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 14 第二章 龐磁阻(CMR)相關理論 · · · · · · · · · · · · · · 16 2-1 鈣鈦礦晶體結構 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 16 2-2 LaMnO3物質特性 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 18 2-3 La1-xCaxMnO3物質特性 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 20 2-4 雙交換傳導機制(double exchange model) · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 25 2-5 軌域與電荷有序現象(orbital and charge orderings) · · · · · · · · · · 27 2-6 楊-泰勒效應(Jahn-Teller effect) · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 30 2-7 相分離(phase separation) · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 33 第三章 樣品製備與實驗過程· · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 35 3-1 實驗流程 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 35 3-2 樣品製備 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 36 3-2.1 靶材的製備 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 36 3-2.2 薄膜的製備 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 39 3-3 樣品鑑定 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 40 3-3.1 晶體結構鑑定 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 40 3-3.2 膜厚測定 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 41 3-3.3 樣品成分分析 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 42 3-3.4 表面型態鑑定 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 43 3-4 樣品量測 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 43 3-4.1 電阻量測 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ·43 3-4.2 磁阻量測 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 44 3-4.3 磁性量測 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 46 第四章 結果分析與討論 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ·48 4-1 塊材部分 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 48 4-1.1 樣品鑑定 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 48 A. 晶體結構 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 48 B. 成分分析 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 50 C. 塊材表面結構 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 52 4-1.2 樣品物性分析 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 52 A. 電阻 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 52 a. 電阻與溫度的關係 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ·52 b. TMI與添加Ho比例的關係 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ·53 B. 磁性 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 54 a. 磁化量與溫度的關係 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ·54 b. 不同溫度的M-H loops · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 59 c. TC與添加Ho比例的關係 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 63 4-2 薄膜部分 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 65 4-2.1 薄膜樣品鑑定 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 65 A. 樣品晶體結構· · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 65 a. powder x-ray 結果 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ·65 b. rocking curve 結果 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ·69 B. 成分分析 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 71 C. 膜厚測定 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 73 D. 薄膜表面分析 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 74 4-2.2 薄膜物性分析 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 76 A. 電阻 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 76 a. 電阻與溫度的關係 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ·76 b. TMI與添加Ho比例的關係 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 81 B. 磁性 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ·83 a. 磁化量與溫度的關係 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ·83 b. 不同溫度的淤M-H loop · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ·85 c. TC與添加Ho比例的關係 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ·87 d. 低溫磁滯曲線 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 88 C. 磁阻 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 91 a. 不同溫度之R-H loop · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ·91 b. 外加場後之R-T變化 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 93 c. MR與添加Ho比例的關係 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 95 d. TP與添加Ho比例的關係 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ·96 e. TC, TMI與之比較 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ·97 4-3 塊材與薄膜結果之比較 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 97 第五章 結論 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 100 參考資料 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 102 圖 目 錄 圖1-1 (a)Resistivity (b) magnetoresistance in 0.3T and (c) magnetization of a La0.8Sr0.2 MnO3 ceramic.[2] · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 3 圖1-2 La0.67Ca0.33MnO3薄膜於77K下MR值[6] · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 4 圖1-3 La0.67Ca0.33MnO3 薄膜TMI與MR值間之關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 5 圖1-4 添加Ho之La0.67Ca0.33MnO3 TMI與溫度關係圖 [9] · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 6 圖1-5 Ho於周期表位置示意圖(圓圈處) · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 7 圖1-6 AMR效應之MR曲線示意圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 11 圖1-7 multi-layer GMR效應 (a)磁性層間反平行態耦合(高電阻態) (b)磁性層間平行態耦合(低電阻態)· · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 12 圖1-8 granular GMR效應 (a)無外加場下顆粒磁矩無規則性(高電阻態) (b)外加場下顆粒磁矩方向一致(低電阻態) · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 13 圖1-9 TMR效應示意圖 (a)低電阻態 (b)高電阻態 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 14 圖2-1 鈣鈦礦之理想晶體結構 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 17 圖2-2 LaMnO3 Mn3+ 3d軌域電子能階示意圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 19 圖2-3 LaMnO3晶體結構圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 19 圖2-4 LaMnO3 Super-exchange model 示意圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 20 圖2-5 La0.67Ca0.33MnO3 晶體結構圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 21 圖2-6 La0.67Sr0.33MnO3 晶體結構圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 22 圖2-7 La1-xCaxMnO3 Mn4+ 3d軌域電子組態示意圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 23 圖2-8 La1-xCaxMnO3 磁、電性相位圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ·23 圖2-9 La1-xSrxMnO3 磁、電性相位圖[24] · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 24 圖2-10 雙交換傳導機制示意圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 25 圖2-11 相鄰Mn3+及Mn4+間夾角示意圖[7] · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 26 圖2-12 Mn3+3d軌域有序示意圖[28] · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 28 圖2-13 The charge and orbital ordering configurations for La1-xCaxMnO3 with x=0, 1/2, and 2/3. Open circles are Mn3+ and the lobes show the orbital ordering of the eg -electrons of Mn4+.[29] · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 28 圖2-14 Pairing of charge-ordered stripes in La0.33Ca0.67MnO 3. Schematic model in the a-b plane showing the pairing and orbital ordering of Mn3+ JTS in blue, and the Mn4+ ions in orange. The arrangement of charge favors anti-ferromagnetism+.[29] · · 29 圖2-14 Jahn-Teller effect 能階分裂示意圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 32 圖3-1 實驗流程圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 35 圖3-2 靶材製作流程圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 38 圖3-3 X光繞射儀之裝置圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 41 圖3-4 四點量測示意圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 44 圖3-5 r-T System · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 45 圖3-6 三種不同的磁阻量測方向 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 46 圖3-7 VSM之系統裝置圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 47 圖4-1塊材XRD繞射圖形 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 49 圖4-2 塊材介於30o~35o之XRD繞射圖形 ·· · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 50 圖4-3 塊材介於45o~50o之XRD繞射圖形 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 50 圖4-4 塊材LCMO EDAX成分分析元素特性繞射圖形 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 51 圖4-5 塊材Ho0.4-LCMO EDAX成分分析元素特性繞射圖形· · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 51 圖4-6 塊材之SEM圖形 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 52 圖4-8 LCMO塊材電阻(R)與溫度(T)關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 53 圖4-9 不同添加比例之塊材電阻(R)與溫度(T)關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 55 圖4-10 塊材TMI與x關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 54 圖4-11(a) 塊材磁化量與x關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 57 圖4-11(b) 塊材磁化量與x關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 58 圖4-11(c) 塊材TC與x關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 58 圖4-12 x=0.0之m-H關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 59 圖4-13 x=0.2之m-H關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 59 圖4-14 x=0.4之m-H關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 60 圖4-15 x=0.6之m-H關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 60 圖4-16 x=1.0之 m-H關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 61 圖4-17 x=1.5之 m-H關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 61 圖4-18 x=2.0之m-H關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 62 圖4-19 塊材TC與x關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 63 圖4-20 塊材TC、TMI與x關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 64 圖4-21 薄膜XRD繞射圖形 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 67 圖4-22 薄膜介於45o~50o之XRD繞射圖形· · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 67 圖4-23 x=0.4之薄膜XRD繞射圖形 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 68 圖4-24 x=0.4之薄膜介於45o~50o之XRD繞射圖形 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 69 圖4-25 A. De. Santis等人之 rocking curve of LCMO film實驗圖形[36]· · · · · · · · · · · 70 圖4-26 薄膜rocking curve · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 70 圖4-27 薄膜LCMO元素ESCA特性曲線 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 71 圖4-28 薄膜Ho 0.4-LCMO元素ESCA特性曲線 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 72 圖4-29 AFM掃描膜厚圖形 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 73 圖4-30 AFM掃描STO基板表面型態圖形 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 74 圖4-31 AFM掃描薄膜表面型態圖形 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 75 圖4-34 不同薄膜厚度下的ρ-T圖[42] · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 77 圖4-35 x=0的電阻-溫度關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 78 圖4-36 x=0.2的電阻-溫度關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 78 圖4-37 x=0.4的電阻-溫度關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 79 圖4-38 x=0.6的電阻-溫度關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 79 圖4-38(a) x=1.0的電阻-溫度關係圖· · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 79 圖4-39 不同添加比例之TMI與TS關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 81 圖4-40 不同添加比例之薄膜電阻(R)與溫度(T)關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 82 圖4-41 薄膜TMI與x關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 83 圖4-42 不同添加比例之薄膜磁化量(m)與溫度(T)關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · 84 圖4-43 薄膜TC與x關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 85 圖4-44 x=0.0之薄膜m-H關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 86 圖4-45 x=0.2之薄膜m-H關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 86 圖4-46 x=0.4之薄膜m-H關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 87 圖4-47 x=0.6之薄膜m-H關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 87 圖4-48 薄膜TC與x關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 88 圖4-49 薄膜低溫(4.2K)m-H關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 89 圖4-49(a) 4.2K薄膜Hc與Ho添加量x關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 89 圖4-49(b) 4.2K薄膜MS與Ho添加量x關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 90 圖4-50 室溫下薄膜電阻(R)與磁場(H)關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 92 圖4-51 低溫下薄膜電阻(R)與磁場(H)關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 93 圖4-52 無外加磁場及外加磁場0.5Tesla下薄膜電阻(R)與溫度(T)關係圖 · · · · · · · · 94 圖4-53 MR與添加Ho比例的關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 95 圖4-54 TP與添加Ho比例的關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 96 圖4-55 TMI、TC與添加Ho比例的關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 97 圖4-56 添加Ho對塊材及薄膜之TMI變化量關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 98 圖4-57 添加Ho對塊材及薄膜之Tc變化量關係圖 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 99 表 目 錄 表1-1 LCMO doping Ho 前後晶格常數、Mn-O間距及Mn-O-Mn夾角一覽表[10]· · · · · 7 表3-1 薄膜濺鍍條件 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 40 表4-1 塊材TMI-x值· · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 54 表4-2 塊材TC-x值 · · · · ·· · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 58 表4-3 ESCA成分分析數值一覽表 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 72 表4-4 各種薄膜在無外加磁場下之TMI值一覽表· · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 80 表4-5 薄膜4.2K飽和磁化量MS · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 903763369 bytesapplication/pdfen-US龐磁阻CMRthesishttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/54471/1/ntu-94-P91222004-1.pdf