國立臺灣大學機械工程學系暨研究所周元昉2006-07-252018-06-282006-07-252018-06-282002http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/15776微機電系統因表面積與體積之比值遠大於一般機械系統，致使熱致動器的頻率響應已具實用價值。然而因輸入電流與位移為非線性關係，以致在動態致動行為上少有深入的研究。本計畫的目的在確實掌握輸入電流與變形之間的動態關係。在探討輸入熱能與輸出位移之間具線性的動態關係上，利用特徵函數展開以求解系統的位移場與溫度場。因為利用熱電阻效應的熱致動器輸入電流與產生的熱能具非線性關係，所以輸入電流與所引致的變形亦為非線性關係。因此將控制電流的供給與提供適當的熱沈，以達成控制熱致動器行為的目標。本研究製作一微型多層複合懸臂樑，使用ploy-SiGe熱電薄膜提供主動式熱沈，達成主動控制的目的。藉此微型樑執行兩項實驗，一為觀察熱耦合彈性變形效應與尺度因素的相關性，另一則為動態熱致動行為的控制。由上述控制多層懸臂樑的運動行為來檢驗所發展方法的適用性。application/pdf312433 bytesapplication/pdfzh-TW國立臺灣大學機械工程學系暨研究所熱致動器熱耦合效應電流熱沈控制reporthttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/15776/1/902212E002192.pdf