國立臺灣大學電機工程學系暨研究所呂學士2006-07-252018-07-062006-07-252018-07-061999-07-31http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/7720application/pdf499397 bytesapplication/pdfzh-TW國立臺灣大學電機工程學系暨研究所電容式半導體加速度計技術之整合研究(三)─子計劃四：半導體加速度計之製程及設備技術研究reporthttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/7720/1/882218E002018.pdf