指導教授:黃俊郎臺灣大學:電子工程學研究所毛睿Mao, RuiRuiMao2014-11-302018-07-102014-11-302018-07-102014http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/263924隨著積體電路技術的不斷發展,電路尺寸更小,性能更高,成本也變得越來越高。使用矽穿孔(TSV)技術的三維記憶體是一種新興的技術,相比平面積體電路有更高的性能和更低的功耗。然而三維記憶體的堆疊產量仍然是一個問題。 在這篇論文中,我們提出了一個改進自匈牙利方法(The Hungarian Method of Assignment)的新演算法對三維記憶體(3D Memory)進行晶圓到晶圓堆疊。實驗結果表明我們的算法可以在一個合理的時間內,給出較高的堆疊良率。As the process technology continues to evolve, IC become smaller and high performance, and the cost become higher. A 3D-IC uses Through Silicon Via (TSV) is an emerging technology, higher performance, and lower power consumption compared to planar ICs. However stacking yield is a problem of 3D-IC. In this thesis, we propose a new algorithm using improved from the hungarian method of assignment on the three-dimensional memory for wafer to wafer stacking. Our results show that our algorithm can be a reasonable amount of time, given the higher stacking yield.口試委員會審定書 # 誌謝 i 中文摘要 ii ABSTRACT iii CONTENTS iv LIST OF FIGURES vi LIST OF TABLES vii Chapter 1 Introduction 1 1.1 採用矽穿孔技術的三維積體電路 1 1.2 三維積體電路的堆疊技術 2 1.3 晶圓到晶圓堆疊的相關研究 3 1.4 論文目的 3 1.5 論文構成 3 Chapter 2 Preliminaries 5 2.1 指派問題 5 2.2 匈牙利方法 6 Chapter 3 The Proposed Method 12 3.1 三維記憶體堆疊問題 12 3.2 超平面覆蓋法 14 3.3 演算法的對稱性 19 3.4 相似度優先演算法 21 Chapter 4 Simulation Results 27 Chapter 5 Conclusions and Future Work 31 5.1 結論 31 5.2 未來工作 31 REFERENCE 33919985 bytesapplication/pdf論文使用權限:不同意授權三維記憶體晶圓到晶圓堆疊演算法三維記憶體的晶圓到晶圓堆疊演算法A 3D Memory Wafer To Wafer Stacking Algorithmthesishttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/263924/1/ntu-103-R00943152-1.pdf