謝國煌2006-07-252018-06-282006-07-252018-06-281997http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/8940zh-TW國立臺灣大學化學工程學系暨研究所深次微米IC製程用之特用化學品技術─子計畫一：DEEP UV光阻劑中高分子材料之製備與其特性研究report