2018-05-012024-05-16https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/667661下世代技術節點的材料、製程、元件及電路熱模擬之關鍵技術-大型儀器(子計畫三)：射頻基材偏壓增強型原子層沉積系統(先進原子層材料與模組技術)