張所鋐臺灣大學：機械工程學研究所林威志Lin, Wei-ChihWei-ChihLin2007-11-282018-06-282007-11-282018-06-282005http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/60948自從奈米科技成為21世紀世界各國重點發展的部份之一，奈米材料的發現尤其是奈米碳管，成為近十多年來學界致力研究的對象，它提供了一個新的方向，去解決目前所遇到而難以解決的問題。本論文即利用奈米碳管的特性藉由ANSYS○R來設計模擬結構，同時藉模擬的結果來看設計的奈米碳管應變感測器參數在一定的力量下，可得到的應變量大小，來推算奈米碳管在受力後可能的伸長量。接著利用微機電製程技術來實現設計的結構。 最後利用儀器來量測，施予不同力、不同位移、不同電壓下的系統不同的特性表現，最後推算系統的應變規因子（Gauge Factor, G.F.）。中文摘要 ................................................I 英文摘要 ...............................................II 目錄 ..............................................III 圖例目錄 ................................................V 表格目錄 ...............................................IX 第1章 緒論 ............................................1-1 1.1 研究背景 ..........................................1-1 1.1.1 奈米碳管發展與研究...............................1-1 1.2 電阻式應變規（ELECTRIC RESISTANCE STRAIN GAUGE）...1-8 1.3 文獻回顧 .........................................1-10 1.3.1 奈米碳管的機械性質 .............................1-10 1.3.2 奈米碳管應用 ....................................1-12 第2章 奈米碳管應變感測器設計與模擬 ...................2-1 2.1 基礎設計架構 .....................................2-1 第3章 實驗設備與製程 .................................3-1 3.1 微奈米機電製程技術 ............................3-1 3.1.1 微影製程技術 .....................................3-1 3.1.2 蝕刻技術 .....................................3-3 3.2 製程規劃 .....................................3-6 3.3 裝置製程 .....................................3-7 3.4 生長奈米碳管 ....................................3-15 第4章 實驗規劃與結果分析 ............................4-1 4.1 奈米碳管機電性量測 ............................4-2 4.2 系統實驗量測 ....................................4-15 4.3 實驗結果討論 ....................................4-62 第5章 結論與未來展望 ............................5-1 參考文獻 R1 作者簡歷6425661 bytesapplication/pdfen-US奈米碳管微機電製程應變規因子Carbon nanotubesMEMS processGauge factorthesishttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/60948/1/ntu-94-R92522803-1.pdf