國立臺灣大學應用力學研究所張家歐2006-07-262018-06-292006-07-262018-06-292001-07-31http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/21592application/pdf430684 bytesapplication/pdfzh-TW國立臺灣大學應用力學研究所濕式蝕刻理論研究與實驗驗證Theoretic Development of Wet Etching and Experimental Verificationreporthttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/21592/1/892212E002100.pdf