吳季珍陳貴賢林麗瓊2020-03-312020-03-312001https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/481885以電子迴旋共振電漿化學氣相沉積法成長矽碳氮晶體薄膜之研究journal article10.29803/CE.200108.0001