指導教授：毛明華臺灣大學：光電工程學研究所吳書衡Wu, Su-HengSu-HengWu2014-11-262018-07-052014-11-262018-07-052014http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/261904在本論文中，我們採用了兩組光子晶體之孔洞半徑及週期，並且利用電子束微影、乾式蝕刻及濕式蝕刻，在砷化銦量子點為主動層之材料上成功製作出可以在室溫下激發出雷射光的光子晶體微共振腔雷射。我們在室溫下利用連續波雷射激發出雷射光，並且觀察調變L3共振腔兩側孔洞對臨界激發功率之影響。 我們將基本的H1、L3、及L5三種光子晶體共振腔做結合，製作成光子晶體耦合式共振腔，在室溫下觀測到耦合對雷射模態之影響。此外，我們也製作了兩個L3共振腔形成的耦合式結構，在室溫下觀察到模態分裂之現象。 我們將光子晶體微共振腔雷射元件和帶狀波導結構整合，在室溫下透過不同的收光方式，嘗試驗證光是否能自波導引出。In this thesis, two sets of radius/period were adopted to achieve room-temperature lasing for photonic crystal micro-cavity lasers. E-beam lithography, dry etching, and wet etching were used to successfully fabricate photonic crystal micro-cavity lasers on samples with InAs quantum-dots as active region. Room-temperature lasing was achieved by continuous-wave pumping. Influence on threshold power by adjusting the two holes adjacent to L3 cavities was also investigated. Fundamental H1, L3, and L5 photonic crystal micro-cavities were combined into photonic crystal coupled-cavities, whose lasing modes were observed and investigated at room temperature. Coupled cavities consisting of two L3 cavities were also fabricated, with mode splitting observed at room temperature. Integration of photonic crystal lasers with ridge waveguides was realized. Efforts were made to investigate if the light came out from waveguides by collecting it from different ways.目錄 摘要 I Abstract II 目錄 III 圖目錄 V 表目錄 XII 第一章 序論 1 1.1光子晶體介紹 1 1.2光子晶體之應用 5 1.3 光子晶體微共振腔雷射之研究動機 10 第二章 設計原理與模擬 16 2.1光子晶體理論 16 2.2設計原理 20 2.3 R-soft模擬及實驗設計 25 2.3.1 L3共振腔雷射 25 2.3.2 H1、L5共振腔雷射 35 2.3.3 L3-L3耦合式共振腔 38 第三章 製程與實驗架構 43 3.1製程 43 3.2 u-PL量測系統 48 3.2.1正打正收架構 48 3.2.2正打側收架構 50 第四章 量測與討論 51 4.1 r130a420雷射 51 4.1.1 L3共振腔 51 4.1.2 L3兩側孔洞半徑縮小 53 4.1.3 L3兩側孔洞位置外移 56 4.1.4 L3兩側孔洞同時外移且縮小 59 4.1.5 H1共振腔雷射 62 4.1.6 L5共振腔雷射 64 4.2 r130a420雷射 66 4.2.1 L3共振腔 66 4.2.2 L3兩側孔洞半徑縮小 68 4.2.3 L3兩側孔洞位置外移 71 4.2.4 L3兩側孔洞同時外移且縮小 74 4.2.5 H1共振腔雷射 77 4.2.6 L5共振腔雷射 79 4.3調變r/a之雷射元件綜合比較 81 4.3.1最佳元件品質參數測定 81 4.3.2 r130a420和r170a470之趨勢 83 4.3.3 H1雷射元件 85 4.3.4 L5雷射元件 86 4.4 r130a420下以L3為基礎之耦合式共振腔 87 4.4.1 L3-L5-L3耦合式共振腔 87 4.4.2 H1-L3-H1耦合式共振腔 89 4.5 r170a470下以L3為基礎之耦合式共振腔 91 4.5.1 L3-L5-L3耦合式共振腔 91 4.5.2 H1-L3-H1耦合式共振腔 93 4.6以L3為基礎之耦合式共振腔綜合討論 95 4.6.1 L3-L5-L3耦合式共振腔 95 4.6.2 H1-L3-H1耦合式共振腔 97 4.7 r130a420之L3-L3耦合式共振腔 99 4.8 r170a470之L3-L3耦合式共振腔 104 4.9 r170a470之L3-L3耦合式共振腔，L3兩側孔洞半徑縮小 109 4.10 r170a470之L3基耦合式共振腔 118 4.10.1元件設計 118 4.10.2量測結果 122 第五章 結論 128 Reference 1308968894 bytesapplication/pdf論文公開時間：2017/08/16論文使用權限：同意有償授權(權利金給回饋學校)光子晶體雷射耦合結構thesishttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/261904/1/ntu-103-R01941036-1.pdf