張培仁張培仁李其源吳政忠陳永裕鄭英周鮑世勇陳炳煇顏凱翔2019-06-262019-06-262004https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/411555濕蝕刻矽薄膜之厚度即時監控方法patent中華民國專利 發明第 205620號