國立臺灣大學應用力學研究所林立偉2006-07-262018-06-282006-07-262018-06-281995http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/21348zh-TW國立臺灣大學應用力學研究所表面微細加工之簿膜式微壓力計的最佳化設計report