謝國煌2006-07-252018-06-282006-07-252018-06-282001http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/9285application/pdfzh-TW國立臺灣大學化學工程學系暨研究所由石化原料製備深次微米IC工業特用化學品(III)─總計畫及子計畫一：由MMA系列共聚合物製備193nm Deep UV光阻劑report