國立臺灣大學機械工程學系暨研究所王興華張所鋐2006-07-252018-06-282006-07-252018-06-281994http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/15027zh-TW國立臺灣大學機械工程學系暨研究所壓電薄膜微致動元件研究report