國立臺灣大學材料科學與工程學系暨研究所吳錫侃2008-07-042018-06-282008-07-042018-06-282008-07-31http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/77626en-US國立臺灣大學材料科學與工程學系暨研究所輕金屬以脈衝電漿沉積六甲基二矽胺(HMDSN)薄膜之研究report