國立臺灣大學機械工程學系暨研究所黃光裕2006-07-252018-06-282006-07-252018-06-282003http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/15839本研究目的在於設計開發一個適合 於自動化量測之微小質量量測系統。為配 合自動化量測之需求，採用電容式量測原 理作為質量量測系統之基本作用原理。以 電容薄膜電極作為質量負載台，質量負荷 時薄膜的共振特性會產生改變。進行振動 式量測時，薄膜的共振頻率可以透過質量 負載及最大形變之關係近似解進行估算。 受質量負載的薄膜以各種激振方式產生振 動，薄膜在自由振動情形，分別以光學式 及電容式量測分析其在質量改變下之頻率 響應變化情形。將質量負載振動薄膜與電 極薄膜之功能獨立化，透過電容式量測器 可以準確測得因質量負載改變所產生之振 動薄膜共振音波變化。application/pdf912248 bytesapplication/pdfzh-TW國立臺灣大學機械工程學系暨研究所微小質量動態質量量測振動 原理量測系統電容式量測器reporthttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/15839/1/912212E002081.pdf