蔡定平臺灣大學：物理研究所傅源興Fu, Yuan HsingYuan HsingFu2007-11-262018-06-282007-11-262018-06-282005http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/54634本論文研究以同步濺鍍(co-sputtering)法製作金與二氧化矽(Au-SiO2)之奈米複合(nano-composite)薄膜結構，在兩支濺鍍槍(sputtering gun)上分別為金(Au)與二氧化矽(SiO¬2)的靶材(target)，藉由改變濺鍍槍的電源供應器(power supply)所提供的濺鍍功率，控制兩種材料的混成比例及濺鍍條件，可調整薄膜中金奈米顆粒的粒徑尺寸、形狀及分佈等參數，並由穿隧電子顯微鏡(Transmission Electron Microscope, TEM)影像觀察其微觀結構。 奈米光學薄膜的研究，以Z軸掃描技術(Z-scan)、近場光學顯微術(Near-field Optical Microscopy, NSOM)以及泵-探(pump-probe)光學量測等實驗方法，探討特殊奈米複合結構薄膜之非線性光學性質、近場光學效應、侷域光學性質、光熱性質及表面電漿子共振等相關的物理性質及其應用。In this thesis, a co-sputtering method is used to fabricate the Au and SiO2 nanocomposite thin film. Two targets of Au and SiO2 are simultaneously rf-sputtered with proper Argon pressure. A nanocomposite thin film consisted of Au and SiO2 can be fabricated, and the volume ratio of Au to SiO2 is controlled by the powers of sputtering guns. The transmission electron microscope (TEM) micrographs of this 15 nm Au-SiO2 nanocomposite thin film show that irregular shape Au nanoparticles are embedded in SiO2 with random distribution. The sizes of these nanoparticles are from 2 to 10nm. The nonlinear optical properties, near-field optical properties, localized optical effects, optical-thermal responses, surface plasmon resonaces and its applications of Au-SiO2 nano-composited thin film are invegated by methods of Z-scan experimental technique, near-field optical microscopy and pump-probe optical measurements.中文摘要 I Abstract II 目錄 III 圖目錄 VI 表目錄 XI 第一章、奈米光學與技術概論 1 1. 1 奈米光子學(Nano-photonics) 1 1. 2 近場光學與奈米光學(Near-field optics and Nano-optics) 4 (a) 近場(Near-field)系統 4 (b) 近場(Near-field)電磁波交互作用與近場光學量測 5 1. 3 奈米近場光學記錄(Near-field optical data storage)概念 8 (a) 近場光學顯微術(Near-field Optical Microscopy) 9 (b) 近場光學記錄(Near-field optics data storage)發展 14 (c) 奈米近場光碟片結構(Near-field optical disc structure) 14 1. 4 奈米光學薄膜(Near-field optical active layer) 15 參考文獻 17 第二章、光與物質作用之基礎理論 21 2. 1 極化率(polarization)與介電函數(dielectric function) 21 2. 2 線性及非線性光學作用 23 (a) 古典電磁學理論分析 23 (b) 二能級吸收(Two level absorption)理論 27 2. 3 電漿子共振(plasmon resonance) 30 (a) 自由電子(free electron)與光場交互作用 31 (b) 表面電漿子(surface plasmon) 32 (c) 顆粒電漿子(particle plasmon) 37 2. 4 尺寸效應(size effect) 39 參考文獻 41 第三章、研究奈米光學薄膜之實驗架構 42 3. 1 近場光學顯微儀(NSOM) 42 3. 2 Z軸掃描(Z-scan)非線性光學量測技術 44 (a) Z軸掃描系統之基本架構與原理 45 (b) Z軸掃描術(Z-scan)實驗裝置 49 (c) 閉孔反射率量測與開孔反射率量測之差異 51 3. 3 泵-探(pump-probe)光學量測 54 參考文獻 56 第四章、金與二氧化矽(Au-SiO2)奈米複合結構薄膜之研究 58 4. 1 Au-SiO2奈米複合結構薄膜性質 58 (a) 樣品製備 58 (b) 樣品的微結構分析 59 (c) 光譜量測分析 61 4. 2 Au-SiO2奈米複合結構薄膜的非線性光學量測 62 (a) 非線性吸收量測分析 63 (b) 反射訊號量測分析 67 (c) 非線性光學折射量測分析 70 (d) 金奈米顆粒薄膜與Au-SiO2奈米複合結構薄膜之比較 72 (e) 金奈米顆粒之非線性光學性質理論分析 74 4. 3 Au-SiO2奈米複合結構薄膜之近場光學量測分析 77 4. 4 Au-SiO2奈米複合結構的光熱性質量測分析 80 參考文獻 86 第五章、結論與展望 89 參考文獻 90 個人資料與著作5402300 bytesapplication/pdfen-US金屬奈米複合薄膜非線性光學光學奈米光學metallicnanonano-compositethin filmnonlinear opticsnano opticsthesishttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/54634/1/ntu-94-D91222017-1.pdf