國立臺灣大學機械工程學系暨研究所顏家鈺2006-07-252018-06-282006-07-252018-06-282004http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/15914原子力顯微鏡(AFM)是目前達到原子級解析 度的重要量測工具之一，該系統利用保持探針與 試片間的固定接觸力以追蹤試片的表面形變;因 此，保持固定相互作用力的控制器在量測精度上 便扮演極重要的角色。本篇實驗報告針對經由系 統識別所建的控制系統來加以設計PID 控制器， 並且討論經由控制器後的實驗結果。application/pdf62032 bytesapplication/pdfzh-TW國立臺灣大學機械工程學系暨研究所原子力顯微鏡系統識別PID 控制器reporthttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/15914/1/922213E002042.pdf