國立臺灣大學電機工程學系暨研究所劉致為2006-07-252018-07-062006-07-252018-07-062000-07-31http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/7801application/pdf588084 bytesapplication/pdfzh-TW國立臺灣大學電機工程學系暨研究所快速熱機台設備及製程研發(1/3)─子計畫二:超高真空快熱化學沉積反應機台之製作與應用reporthttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/7801/1/892218E002017.pdf