去除半導體產業中老化溼式洗滌水中之氟化物及其再利用之探討(1/2)

張慶源2006-07-262018-06-282006-07-262018-06-282003-07-31http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/22109本研究是以商業用之活性礬土及自行開發合成之吸附劑（MCM-41-Zr）來去除半導體產業中老化溼式洗滌水之氟化物，並針對影響處理效率之因子如：氟離子之初始濃度、pH值及其他因子進行探討，以期找出最適之處理操作條件。application/pdf376331 bytesapplication/pdfzh-TW國立臺灣大學環境工程學研究所氧化鋁氟離子MCM-41-Zr等溫吸附吸附管柱去除半導體產業中老化溼式洗滌水中之氟化物及其再利用之探討(1/2)Removal of Fluoride from Aged Scrubbing Water in Semiconductor Manufacturing Industries and Its Reuse (1/2)reporthttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/22109/1/912211E002025.pdf