電容式半導體加速度計技術之整合研究(三)子計畫二半導體加速度計之熱流及電磁技術研院

國立臺灣大學應用力學研究所張培仁2006-07-262018-06-292006-07-262018-06-291999-07-31http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/21559application/pdf321652 bytesapplication/pdfzh-TW國立臺灣大學應用力學研究所電容式半導體加速度計技術之整合研究(三)子計畫二半導體加速度計之熱流及電磁技術研院The Study on the Fluid Dynamics and Electromagnetic of Capacitive Semiconductor Micro-Accelerometerreporthttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/21559/1/882218E002016.pdf