徐治平2006-07-252018-06-282006-07-252018-06-282001http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/9259application/pdf540344 bytesapplication/pdfzh-TW國立臺灣大學化學工程學系暨研究所氧化鐵粒子橢球操作條件臨界凝聚濃度Scholze-Hardy法則Ferric oxide particlesspheroidseffect of operation conditionscritical coagulation concentrationSchulze-Hardy rule深次微米半導體化學機械研磨技術之研究─子計畫二：化學機械研磨液穩定性之探討(2/2)Stability of Slurry in Chemical Mechanical Polishing(2/2)reporthttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/9259/1/892214E002049.pdf