國立臺灣大學機械工程學系暨研究所劉正良2008-07-042018-06-282008-07-042018-06-282008-07-31http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/77769application/pdf1279240 bytesapplication/pdfen-US國立臺灣大學機械工程學系暨研究所多電子束微影系統設計－子計畫一：多電子束微影系統腔體結構之設計與分析(I)reporthttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/77769/1/952221E002434.pdf