國立臺灣大學電子工程學研究所管傑雄2006-07-262018-07-102006-07-262018-07-102004-07-31http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/20004本計畫預期完成兼具偵測多波段紅外 線及可見光的偵測器陣列模組。其主要工 作內容包含三部分:單一偵測器的設計與 製作、偵測器陣列的設計與製作、讀出電 路的設計與製作,最後是偵測器陣列與讀 出電路的整合。 在單一偵測器方面,我們所要完成的偵 測器,不但具有偵測不同紅外線波段輻射 強度的能力,而且能遙測物體溫度。該偵 測器的基本結構是:兩種不同的超晶格結 構,而其中夾著一寬能障。兩超晶格具有 不同的電子躍遷能階,故能偵測不同波段 的紅外線。而中間的寬能障,可作為電子 能量的高通過濾器,具有調變偵測器響應 的功能。利用二種不同的偵測器響應,我 們可求出光電流的比值,由此遙測出輻射 物體的溫度。 在偵測器陣列方面,我們針對超晶格偵 測器的特性,設計出可正面入射的像素 (pixel) 。其中每一像素的表面,均有V 型 的凹槽,以解決該偵測器正向入射的問 題;另在像素mesa 的側面,均覆蓋著絕緣 體及金屬層,這是為了反射光線及防止表 面漏電流而設計的。如此的陣列設計,可 增加捕光的能力,又能防止像素間的串 訊,另具防止表面漏電流等多重功能。本 計畫的陣列是以一維的線性陣列為重心。 在讀出電路方面,我們針對紅外線陣列 的需要,設計出相配的讀出電路。其中以 correlated doubled sampling circuitry 來減除 重置雜訊。並以差動放大器將亮訊號減去 暗訊號,以增加讀出電路的零敏度。在製 作讀出電路的同時,我們也將利用CMOS 技術製作可見光偵測器,以期使整個模組 兼具偵測多波段紅外線及可見光的能力。 我們長期的目標在於完成熱影像攝影 系統。而本計畫則以線性陣列模組為近期 的工作項目,預計以三年的時間完成。application/pdf121333 bytesapplication/pdfzh-TW國立臺灣大學電子工程學研究所兼具偵測多波段紅外線及可見光的偵測器陣列模組之研發 (2/3)reporthttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/20004/1/922215E002006.pdf