范光照Lin, W.L.W.L.LinChung, T.T.T.T.ChungWang, H.Y.H.Y.WangWu, L. P.L. P.WuFan, K.C.K.C.Fan2009-05-152018-06-282009-05-152018-06-282005-05http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/156611en-USMicro/Nano 1x2 Mechanical Optical Switchconference paper