謝國煌2006-07-252018-06-282006-07-252018-06-281998http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/8992zh-TW國立臺灣大學化學工程學系暨研究所深紫外光光學微影術技術發展─子計畫二：深UV193nm光阻劑中MMA共聚物之製備及特性研究report