2022-08-012024-05-18https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/701134尖端掃描探針顯微技術檢測前瞻半導體材料元件關鍵特性-原子級掃描探針顯微技術檢測半導體關鍵材料元件表面介面能譜分析(2/2)