國立臺灣大學機械工程學系暨研究所周元昉2006-07-252018-06-282006-07-252018-06-281999http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/15621本計畫設計一套進行微尺度單晶矽疲 勞試驗的方法。疲勞試片為250 mm 長的 單晶矽懸臂樑，試片係在(100)晶片上以微 加工技術製成，懸臂樑的軸向為<110>， 樑的自由端以一個銅片與PVDF 的荷重元 量測外力，荷重元以傳統加工方式製成。 此系統經測試後證實可行;未來將進一部 求得微尺度單晶矽正確的疲勞特性。application/pdf106638 bytesapplication/pdfzh-TW國立臺灣大學機械工程學系暨研究所疲勞微加工單晶矽reporthttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/15621/1/882212E002009.pdf