陳文章2006-07-252018-06-282006-07-252018-06-282001http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/9257application/pdf379862 bytesapplication/pdfzh-TW國立臺灣大學化學工程學系暨研究所化學機械研磨低介電常數高分子研磨粉體界面活性劑深次微米半導體化學機械研磨技術之研究─子計畫四：低介電常數高分子介電膜之化學機械研磨特性研究(2/2)Studies on the chemical-mechanical polishing characterization of low dielectric constant polymersreporthttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/9257/1/892214E002047.pdf