張培仁、李其源、吳政忠、陳永裕、鄭英周、鮑世勇、陳炳煇、顏凱翔陳炳煇2019-06-262019-06-262004https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/411558濕蝕刻矽薄膜之厚度即時監控方法patent中華民國專利 205620