國立臺灣大學應用力學研究所楊照彥2006-07-262018-06-292006-07-262018-06-291999-07-31http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/21556application/pdf218636 bytesapplication/pdfzh-TW國立臺灣大學應用力學研究所電感耦合式電漿源處理系統之計算模擬Numerical Simulation of Inductively-Coupled Plasma Sourcesreporthttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/21556/1/882213E002026.pdf