國立臺灣大學機械工程學系暨研究所范光照2006-07-252018-06-282006-07-252018-06-281997http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/15243zh-TW國立臺灣大學機械工程學系暨研究所高精密機械定位平台(II)─子計畫二:系統機構及六算由度位置誤差量測report