國立臺灣大學電機工程學系暨研究所蔡坤諭2008-07-082018-07-062008-07-082018-07-062007-07-31http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/79045en-US國立臺灣大學電機工程學系暨研究所多電子束平行掃瞄微影系統設計－子計畫三：多電子束平行掃瞄系統之電磁透鏡、遮黑板與資料傳輸系統研發report