國立臺灣大學電機工程學系暨研究所劉深淵2006-07-252018-07-062006-07-252018-07-061998http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/7416zh-TW國立臺灣大學電機工程學系暨研究所電容式半導體加速度計技術之整合研究(2/3)─子計畫三:半導體加速度計之信號處理積體電路技術研究report