李克強2006-07-252018-06-282006-07-252018-06-281997http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/8905zh-TW國立臺灣大學化學工程學系暨研究所半導體關鍵設備研究─子計畫四：半導体製程反應器之模擬與研製(I)report