柯正達傅士奇謝國煌2008-12-032018-06-282008-12-032018-06-282002http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/87330application/pdf755416 bytesapplication/pdfen-USIC製程用193nm光阻劑之製備及微影性質研究journal articlehttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/87330/1/09.pdf