何東英2006-07-252018-07-102006-07-252018-07-101998http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/6412application/pdfzh-TW國立臺灣大學化學系暨研究所由石化原料製備深次微米IC工業特用化學品─子計畫三：193NM及248NM深紫外線光酸化反應研究report