吳忠幟臺灣大學：電子工程學研究所鄭閔仁Cheng, Ming-RenMing-RenCheng2007-11-272018-07-102007-11-272018-07-102004http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/57411本論文中，我們以不同製程條件研製有機材料pentacene作為電晶體的載子傳遞層的有機薄膜電晶體，觀察pentacene薄膜的生長狀況，並量測分析有機電晶體的各項電特性。在高溫下pentacene成長有著較好的結晶性與較大的晶粒，同時也會提高載子移動率；而經由Octadecyltrichlorosilane (簡稱OTS, CH3(CH2)17SiCl3)處理閘極絕緣層界面的元件，儘管其pentacene晶粒較小，但除了臨界電壓會往負方向移動外，其他電特性諸如載子移動率，電流開關比，次臨界斜率都有明顯改善。綜合各項較佳製程條件，本論文中最好的有機薄膜電晶體其載子移動率為0.12 cm2/Vs，電流開關比約為106，次臨界斜率可達1.97 V/decade。目錄 第一章 簡介 1.1 有機薄膜電晶體發展與應用概況.............1 1.2 有機薄膜電晶體的操作與量測….............3 1.3 有機材料中的載子傳輸.....................5 1.4 論文結構.................................7 第二章 實驗方式 2.1 有機材料純化與蒸鍍......................11 2.2 元件基礎製程............................12 2.3 元件優化製程............................13 2.3.1 閘極絕緣層介面處理................13 2.3.2 加溫成長有機半導體層..............14 2.4 材料及元件量測與分析....................15 第三章 結果與討論 3.1 有機薄膜特性分析........................20 3.1.1 不同蒸鍍溫度對有機薄膜的影響......20 3.1.2 閘極絕緣層界面處理 對有機薄膜的影響..................22 3.2 元件電性分析............................25 3.2.1 不同蒸鍍溫度對元件電性的影響......25 3.2.2 閘極絕緣層界面處理 對元件電性的影響..................26 第四章 總結與未來展望 4.1 總結....................................41 4.2 未來展望................................41 參考文獻.........................................43779936 bytesapplication/pdfen-US有機薄膜電晶體organic thin film transistorthesishttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/57411/1/ntu-93-R91943038-1.pdf