國立臺灣大學機械工程學系暨研究所范光照2006-07-252018-06-282006-07-252018-06-281999http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/15632本計畫為國科會整合型研究總計畫 「奈米級三次元量測儀研製」之子計畫二 「超精密量測探頭與量測軟體的研製」， 本計畫第一年度目標：(1) 市售CD-ROM Pickup Head 的調查、選用、及設計圖與 電路圖取得，(2) Pickup head 機構組成分 析及電路介面測試分析，(3) 自製自動功 率控制電路與訊號處理電路，(4) 雛型精 密光學探頭完成系統校正與性能測試。 本計畫目前已順利完成第一年度的 預期進度，研製出一超精密奈米級光學聚 焦探頭。此探頭系統具有30nm 精度與 10mm的量測範圍，對於表面輪廓量測上 具有極佳的表現。第二年預期改進為自動 聚焦探頭，量測範圍為200mm，精度為 30nm。application/pdf93005 bytesapplication/pdfzh-TW國立臺灣大學機械工程學系暨研究所CD 雷射探頭聚焦探頭失焦誤差訊號超精密量測reporthttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/15632/1/882212E002032.pdf