國立臺灣大學工程科學及海洋工程學系暨研究所李佳翰2008-07-032018-06-282008-07-032018-06-282007-07-31http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/76164application/pdf787335 bytesapplication/pdfen-US國立臺灣大學工程科學及海洋工程學系暨研究所應用於奈米微影之最佳化光學頭reporthttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/76164/1/952218E002055.pdf