彭隆瀚臺灣大學:光電工程學研究所李俊瑩Li, Jun-YingJun-YingLi2010-07-012018-07-052010-07-012018-07-052009U0001-1308200916574000http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/188401本篇論文分為三個主要部分：準相位匹配與倍頻理論之介紹，週期性極化反轉摻雜氧化鎂共熔鈮酸鋰雷射晶片之研製，以及綠光倍頻雷射晶片之光學量測與特性分析。論部分描述非線性頻率轉換與準相位匹配理論。製程部分則以未摻雜的共熔鈮酸鋰上成功的高電壓致極化反轉法為基礎加以改良，在厚度為0.5 mm摻雜氧化鎂鈮酸鋰晶片成功研製出最小週期為最小週期為6.75 um之第一階二維、13.8 um之第二階一維及6.9 um之第一階準一維的週期性極化反轉摻雜氧化鎂鈮酸鋰雷射晶片，此雷射晶片可用於綠光倍頻之用。在光學實驗部分，以波長為1064 nm之奈秒脈衝雷射進行綠光倍頻實驗，並嘗試拓寬其溫度頻寬，目前已成功研製出具有30 ℃溫度頻寬，在100 MW/cm^2之奈秒泵浦條件操作下之出光效率約在10.54 %，長度為0.8 mm的綠光倍頻雷射晶片，在250 mW的基頻光入射有26.4 mW的綠光出光。This thesis is organized into three parts：(a) The theory of quasi-phase-matching (QPM) and second harmonic generation (SHG), (b) The fabrication techniques of periodically poled magnesium-oxide-doped congruent lithium niobate(MgO:LiNbO3), (c) Optical measurement and characteristic analysis of periodically-poled MgO:LiNbO3 laser chips for producing second harmonic generation (SHG) of green laser. irst, the theory of QPM and nonlinear optical generation will be introduced. In the second part, the fabrication technique improvements are based on electric poling method of congruent lithium niobate. This method leads to the realization of periodically poled QPM structures of 0.5 mm thick MgO:LiNbO3 substrates. The smallest periods achieved in this work are (i) 6.75 um for the 1st 2D、(ii) 13.8 um for the 2nd 1D and (iii) 6.9 um for the 1st quasi-1D QPM device. These chips are suitable for producing SHG green laser. Finally, a green laser made of 0.8 mm long periodically poled MgO:CLN are tested by a pulsed 1064 nm laser of 100 MW/cm^2. The device exhibits a broad temperature acceptance width of 30 ℃ and SHG efficiency of 10.6 %, which yield 26.4 mW green at 250 mW 1064 nm pump.第一章 緒論 1.1 研究背景與動機 1.2 常用非線性晶體介紹 5.3 鈮酸鋰晶體 7.3.1 鈮酸鋰歷史簡介 7.3.2 鈮酸鋰的鐵電相 8.3.3 鋰空缺模型 10.3.4 鈮酸鋰之摻雜 12.4 極化反轉製程 14.4.1 鋰離子外擴散法 14.4.2 特殊金屬內擴散法 14.4.3 質子交換法 15.4.4 高電壓致極化反轉法 15.4.5 淺層反轉混合高電壓致極化反轉法 15.4.6 結論 16.5 非線性頻率轉換技術 17.5.1 和頻產生 17.5.2 差頻產生 18.5.3 倍頻產生 18.6 論文內容之概述 20二章 非線性頻率轉換理論 21.1 非線性頻率轉換與相位匹配 21.1.1 非線性頻率轉換 21.1.2 倍頻產生 23.1.3 平面波近似 24.1.4 高斯波近似 25.1.5 相位匹配 27.1.6 基頻光會空乏的倍頻產生在相位匹配下之平面波近似 27.2 雙折射相位匹配 29.3 準相位匹配 31.3.1 一維空間 31.3.2 二維空間 36.4 可接受波長頻寬與溫度頻寬 41三章 設計與製程 43.1 極化反轉模型 43.2 文獻回顧 46.3 週期設計 48.4 高電壓致極化反轉法 50.4.1 製作流程 50.4.2 高電壓系統 51.4.3 液態電極與基座設計 52.4.4 金屬電極之選擇 53.4.5 高電壓波形 54.4.6 反轉時間計算 55.5 製程結果與討論 56.5.1 溫度效應 56.5.2 邊緣效應 57.5.3 準一維結構 59.5.4 一維結構 60.5.5 改良後的完整製作流程 61四章 光學量測與分析 62.1 綠光倍頻實驗架設 62.2 綠光倍頻實驗結果與分析 64.2.1 溫度調變曲線與製作週期驗證 64.2.2 元件特性量測與討論 65.2.3 與未摻雜的共熔鈮酸鋰的比較 70五章 結論與未來展望 72.1 結論 72.2 未來展望 732978113 bytesapplication/pdfen-US摻雜氧化鎂鈮酸鋰準相位匹配綠光雷射倍頻MgO:LiNbO3Quasi-Phase-MatchingGreen LaserSecond Harmonic Generationthesishttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/188401/1/ntu-98-R96941023-1.pdf