呂宗昕2006-07-252018-06-282006-07-252018-06-281999http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/9209application/pdfzh-TW國立臺灣大學化學工程學系暨研究所由石化原料製備深次微米IC工業等用化學品(II)─子計畫五：新世代IC強介電記憶體層狀材料之製備與特性分析report