https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/292632
標題: | Ultra-deep LIGA process and its applications | 作者: | Cheng, Y. Shew, B.-Y. Chyu, M.K. Chen, P.H. PING-HEI CHEN |
公開日期: | 2001 | 卷: | 467-468 | 期: | PART II | 起(迄)頁: | 1192-1197 | 來源出版物: | Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-0346981694&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/292632 |
DOI: | 10.1016/S0168-9002(01)00606-4 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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